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金融界2025年1月18日音讯,国家知识产权局信息数据显现,杰宜斯科技有限公司请求一项名为“半导体制作设备及其操控办法”的专利,公开号 CN 119314902 A,请求日期为2024年7月。
专利摘要显现,本发明多个施行例触及半导体制作设备,该半导体制作设备可包含:多个杯部,用于收回工序期间喷发的化学物质;马达驱动模块,用于驱动马达以调理所述杯部的上下方位;多个压力阀,用于驱动气缸以调理所述杯部的上下方位;以及处理器,用于操控所述马达驱动模块及所述压力阀。
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